半導(dǎo)體切割機(jī)對(duì)切割的精度要求非常高
編輯：admin 發(fā)布時(shí)間：2018-12-06 14:27:15
半導(dǎo)體切割機(jī)對(duì)切割的精度要求非常高，其主軸轉(zhuǎn)速約在30,000至60,000rpm之間，由于晶粒與晶粒之間距很?。s在2mil，1mil=1/1000英吋）而且晶粒又相當(dāng)脆弱，因此精度要求相當(dāng)高（3μm在205mm之行程），且必須使用鉆石刀刃來(lái)進(jìn)行切割，而且其切割方式系采磨削的方式把晶粒分開(kāi)。由于系采用磨削的方式進(jìn)行切割，會(huì)產(chǎn)生很多的小粉屑，因此在切割過(guò)程中必須不斷地用凈水沖洗，以避免污染到晶粒。除上述諸點(diǎn)外，在整個(gè)切割過(guò)程中尚須注意之事項(xiàng)頗多，例如晶粒需完全分割但不能割破承載之膠帶，切割時(shí)必須沿著晶粒與晶粒間之切割線(xiàn)不能偏離及蛇行，切割過(guò)后不能造成晶粒之崩塌或裂痕等等。為解決上述諸多問(wèn)題，各種自動(dòng)偵測(cè)、自動(dòng)調(diào)整及自動(dòng)清洗的設(shè)備都會(huì)應(yīng)用到機(jī)器上以減少切割時(shí)產(chǎn)生錯(cuò)誤而造成之損失。圖1為芯片切割機(jī)之一例。切割好之晶圓便會(huì)傳送到下一個(gè)制程進(jìn)行黏晶。
